一、每次使用前后检查
开机前确认气源洁净，前端过滤器无堵塞；检查管路接头无漏气、管线无弯折挤压。
确认进出口阀门状态，严格遵循开机顺序：先通载气，再上电；停机先断电，后关闭气源，防止负压损伤传感器。
观察显示屏流量零点，若零点漂移明显，在洁净干燥气体条件下执行零点校准。
使用完毕，持续通入干燥洁净吹扫气体5～10min，带走管路内残留水汽、挥发性杂质。
二、每周维护
外观检查：壳体有无腐蚀、接头密封圈老化；通讯线路、供电端子紧固无松动。
排查泄漏：使用中性检漏液检测所有气路接口，禁止腐蚀性检漏试剂。
查看前端过滤器滤芯，若出现变色、粉尘堆积，及时更换滤芯。
记录零点稳定性、流量重复性，对比历史数据，提前预判性能衰减。
三、月度维护
完整吹扫气路系统；确认温控模块、电磁阀工作无异常。
核查设备流量输出信号，对比标准参考仪表，初步判断量程偏差。
清理设备表面粉尘，避免粉尘堵塞散热孔；保持设备通风，远离热源、振动源。
四、季度/半年度深度维护
完成标准气体校准（根据实验室计量要求），修正漂移误差。
拆卸前置过滤器，更换滤芯；滤芯为核心耗材，防止粉尘进入传感器造成堵塞。
严禁自行拆开MFC本体，内部传感毛细管极易损坏；出现内部堵塞、性能大幅衰减，交由厂家处理。
五、长期停机维护（超过7天）
使用高纯干燥氮气充分吹扫内部流道。
关闭进出口两端阀门，隔离外界空气水汽、污染物。
断电存放，环境保持干燥无尘；避免高低温交替、剧烈震动。
六、重要运维禁忌与故障提示
禁止液体、油雾、大量粉尘进入流量计，极易造成流量传感元件堵塞报废；高杂质气源必须加装多级过滤。
禁止超量程、超压差运行；严禁反向通气，反向气流会损伤传感器。
不要随意拆卸流量计主体，私自拆解直接丧失校准精度与质保。
介质含腐蚀性气体，需选用防腐型号，并缩短吹扫与滤芯更换周期。
简易故障预判
零点持续漂移→杂质沉积、水汽污染，加长吹扫时间或更换滤芯；
流量响应迟缓、控制震荡→检查气源压力稳定度、过滤器堵塞；
流量无法稳定→核查上下游阀门、管路泄漏。
更新时间：2026-08-03
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