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MEMS Vs.毛细管热式气体质量流量计在耐腐蚀性上的区别
2026-11-06
在半导体制造、化工和工业过程控制中，气体质量流量计（MFC）经常需要接触腐蚀性或反应性气体，如刻蚀工艺中的氯气（Cl₂）、溴化氢（HBr）、三氯化硼（BCl₃），以及薄膜沉积中使用的前驱体气体等。流量计的耐腐蚀性能直接关系到测量精度、设备寿命和工艺安全。当前主流的热式气体质量流量计分为MEMS（微机电系统）芯片级热式和毛细管旁路热式两种技术路线。两者在测量原理和性能指标上各有特点，但在耐腐蚀性方面存在结构性差异，这些差异源于传感元件的材料构成、气体接触方式和标定方法的根本不同...
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MEMS与毛细管热式气体质量流量计的区别
2026-11-06
热式气体质量流量计是工业过程控制和半导体制造中应用广泛的气体流量测量仪表之一。其基本原理是利用气体流过加热元件时带走热量，通过测量温度变化来计算气体的质量流量，无需温度和压力补偿即可直接获得质量流量值。尽管测量原理的物理基础相同，但不同厂商在传感结构和技术路线上存在显著差异。当前市场上主流的热式气体质量流量计分为两大技术路线：以SensirionSFM5400为代表的MEMS（微机电系统）芯片级热式流量计，和以HORIBASEC系列为代表的毛细管旁路热式流量计。两种技术路线在...
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Sensirion SFM5400多气体质量流量计技术解析与应用实践
2026-11-05
在工业过程控制、半导体制造和医疗设备等领域，气体流量的精确测量是保障工艺一致性和设备安全性的基础。传统的热式质量流量计虽然应用广泛，但在精度、响应速度、长期稳定性和多气体适应性等方面存在固有局限。瑞士传感器厂商Sensirion凭借CMOSens®芯片级传感技术推出的SFM5400气体质量流量计，将传感元件与信号处理电路集成在单个硅芯片上（MEMS），以0.8%设定点的精度、50毫秒的稳定时间和1000:1的量程比，重新定义了工业级气体流量测量的性能。CMOSens&...
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干法刻蚀常用气体与常用MFC气体质量流量计
2026-11-05
刻蚀是半导体制造中继光刻之后的关键工序，其作用是通过化学或物理方法有选择地去除晶圆表面不需要的材料，将光刻定义的电路图形转移到衬底上。在全部晶圆制造设备投资中，刻蚀设备占比约20%，仅次于光刻设备的30%，是半导体工艺中投入最大的环节之一。刻蚀分为湿法刻蚀和干法刻蚀两大类。湿法刻蚀使用液体化学试剂以化学方式去除材料，但由于在线宽控制、刻蚀方向性和各向异性等方面的局限性，在3μm以下的工艺节点中已基本退出主流。干法刻蚀将晶圆表面曝露于气态等离子体中，通过等离子体与材料表面的物理...
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微流量液体流量计在半导体制造中的三大关键应用
2026-11-04
随着半导体制造工艺节点不断缩小，从28nm向7nm、5nm乃至更先进制程推进，晶圆加工过程中的液体流量控制精度要求也在持续提升。在许多关键工艺环节中，液体介质的流量已经从过去的升每分钟级别缩小到毫升每分钟甚至微升每分钟级别。微流量液体流量计作为精确计量和控制这些微小流量的核心仪表，在半导体制造中扮演着越来越重要的角色。微流量通常指流量在数百毫升每分钟以下的液体流量测量场景。在这个流量区间内，传统的涡街流量计因无法产生稳定涡街而失效，电磁流量计因信号微弱而精度不足，差压式流量计...
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半导体常用流量计种类|CMP、WET用什么好？
2026-11-04
半导体制造是当今工业领域中工艺复杂、洁净度要求高的生产过程。从晶圆切割、清洗、光刻、蚀刻、化学机械抛光（CMP）到薄膜沉积、离子注入等数十道工序，几乎每一个工艺环节都离不开对流体介质的精准计量与控制。超纯水、各类化学药剂、CMP浆料、工艺气体、冷却水等介质的流量测量，直接关系到工艺一致性、良品率和设备运行安全。由于半导体工况的特殊性——超纯介质不能被污染、腐蚀性药剂要求接液材料惰性、微流量需要高精度、洁净厂房要求免维护——并非所有流量计都能胜任。本文梳理半导体制造中常用的流量...
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冷却水与清洗水的流量管理｜超声波流量计不停产即夹即测
2026-11-04
在各种制造工序中，冷却水和清洗水的流量管理直接关系到产品品质、设备寿命和生产效率。流量不足会导致过热、烧结、刀具破损等故障；流量过多则可能降低加工精度或延长干燥时间。本文梳理制造业中需要进行冷却水、清洗水流量管理的典型工序和设备，并分析各场景的流量管理要点。一、注塑机的模具冷却管理注塑机通过模具冷却水控制成型温度。如果模具冷却不当，会产生毛边（树脂溢出）、短射（缺料）、熔接痕和缩痕等缺陷。通过在冷却水回路安装流量传感器进行模具冷却管理，可以优化料斗浇口的冷却水分配，实现品质稳...
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超声波流量计的类型：按测量原理与安装方式分类及优劣对比
2026-11-03
超声波流量计利用超声波在流体中的传播特性测量流量，以其非接触测量、无压力损失、可带压不停产安装等优势，广泛应用于市政供水、工业废水、化工腐蚀介质和热力供暖等场合。但"超声波流量计"并非单一产品，按测量原理和安装方式可分为多种类型，各有不同的技术特点和适用边界。一、按测量原理分类1.时差法（Transit-Time）时差法是超声波流量计的主流技术路线。两个换能器成对安装在管道上，交替发射和接收超声波信号。顺流方向声波与流速叠加，传播加快；逆流方向声波被流速抵消，传播减慢。仪表测...
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