成功案例
SUCCESSFUL CASES
发布时间:2026/7/23 14:32:10

半导体制造过程中需要使用大量的纯水进行清洗晶圆、冲洗电子元件、蚀刻等操作,在纯水处理过程中,常常需要精确地测量液体流量,如在反渗透(RO)过程中,需测量浓缩液的流速,以控制浓缩比及防止膜结垢,通过持续监测水的流速,也可监控RO设备的性能,及时发现可能的故障或异常;在去离子交换(DI)过程,会使用离子交换树脂去除水中的离子,此时需要监测流经树脂的水流速、反洗液体流经树脂的速度的流速,以确保确保树脂得到充分的接触时间,以有效去除离子。另外,在纯水制程的化学添加阶段也需精准控制药剂用量,如测量消毒剂(氯、二氧化氯、臭氧等)用量,确保水中微生物的去除作业,或是pH 调节剂用量),以确保水质稳定性。由此可见,纯水处理作业对于液体流速测量,以及测量工具的耐化学性,有特别高的要求。

| 在去离子交换(DI)过程反渗透(RO)过程,监测液体的流速可以确保纯水品质,监控设备性能
情况:该厂为专业之水处理系统规划设计之工程公司,业务范围包括超纯水系统、废水回收、废水处理工程等,在纯水处理的阶段,因为纯水不导电,无法使用常见的电磁式流量计,该公司欲选择超音波流量计,但是市面上常见的超音波流量计安装及设定步骤困难繁琐,且需要定期补充超音波膏,使用体验不佳,并且在纯水处理阶段的作业中,该公司也需要选择能够精确测量液体的微小流量,并具备良好耐化学性的测量工具。
解决方案:LORRIC的超音波流量计
我们建议该公司纯水处理设备中安装LORRIC的超音波流量计,具备便利安装的特性,由于能够双向流量量测,安装时无须考虑液体流向;其探头安装轨道,利于快速安装、精确定位,扣具使管线紧密贴合,大幅提升流量侦测准确性,能稳定侦测结果,并且具备非破坏安装特性,能随时卸载维修,解决了一般流量计安装及设定步骤困难繁琐的问题。此外,超音波流量计借由两个超音波传感器,测量接收到的超音波的频率来计算超音波在液体中的传播速度,借此达到精确测量的效能,如在反渗透(RO)设备安装超音波流量计,监控穿过超滤膜的高浓度水,以确保反渗透系统的稳定运行,或是在去离子交换(DI)过程,监测流经树脂的水流速等,以达到最佳离子去除效果,LORRIC的超音波流量计也具有良好的耐化学性,符合了该公司的需求。

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