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在不同的湿法工艺中,晶圆制造会用到多种磨蚀性、粘附性、腐蚀性以及超纯液体。SONOTEC 的紧凑型传感器凭借非侵入式、非干扰式的测量方式,特别适合用于此类场景中的流量测量与气泡检测,覆盖以下八大应用:• 化学品供应/输送(CCSS/CDS)• 化学机械抛光(CMP)• 光刻• 电镀• 光刻胶涂覆• 抛光液配制/混合• 晶圆/掩膜清洗• 湿法刻蚀
更新时间:2026-07-29
产品型号:SEMIFLOW® CO.65
浏览量:159
SONOTEC超声波流量计:SONOFLOW® CO.55 超声波在线流量计,可在柔性塑料软管中准确、可靠地测量液体流量。夹装式设计与非侵入式测量原理支持重复使用。该系列传感器支持从工艺开发到 GMP 环境商业化应用的工艺放大(Scale‑up)。
更新时间:2026-07-30
产品型号:SONOFLOW CO.55
浏览量:346
SONOFLOW® CO.55 V3.0 便携式外夹式超声波流量计,集成了电子单元,适用于从工艺开发、GMP(药品生产质量管理规范)环境到灌装和制剂终处理操作等多种应用场景。
更新时间:2026-07-30
产品型号:SONOFLOW® CO.55 V3.0
浏览量:205

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