SEMIFLOW® CO.65 便携式外夹式超声波流量计，专为半导体行业设计。这款高精度、高可靠性的超声波传感器能够直接透过硬质塑料管或管道进行测量，与液体无接触，从而消除泄漏和污染风险，进而提高设备正常运行时间并较大化良率。其紧凑的外壳设计集成了电子电路板，非常适合便捷的系统集成。

SONOTEC超声波流量计产品介绍：SEMIFLOW® CO.65 非接触式流量计，用于在硬质塑料管与管道上进行高精度流量测量。可靠的液体流量测量在半导体工艺管理中起着重要作用。SEMIFLOW CO.65 流量计可有效监测湿法工艺，确保液体保持恒定流量，或在使用点（Point of Use）实现体积定量分配管理。通过实施准确且可靠的流量测量，晶圆厂（Fabs）能够显著提升工艺质量。

采用超声波时差法测量原理，顺逆流方向传播时间差以皮秒级精度解析，10 ms周期平均处理，实时输出体积流量，满足严苛工艺对响应速度的要求。

专为半导体湿法工艺设计的高精度非接触式超声波流量计，采用夹装式安装于硬质塑料管外侧，无泄漏与污染风险，有效提升晶圆良率和设备运行时间。

在不同的湿法工艺中，晶圆制造会用到多种磨蚀性、粘附性、腐蚀性以及超纯液体。SONOTEC 的紧凑型传感器凭借非侵入式、非干扰式的测量方式，特别适合用于此类场景中的流量测量与气泡检测，覆盖以下八大应用：• 化学品供应/输送（CCSS/CDS）• 化学机械抛光（CMP）• 光刻• 电镀• 光刻胶涂覆• 抛光液配制/混合• 晶圆/掩膜清洗• 湿法刻蚀

SONOTEC超声波流量计：SONOFLOW® CO.55 超声波在线流量计，可在柔性塑料软管中准确、可靠地测量液体流量。夹装式设计与非侵入式测量原理支持重复使用。该系列传感器支持从工艺开发到 GMP 环境商业化应用的工艺放大（Scale‑up）。